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佳能將發(fā)售KrF半導(dǎo)體光刻機升級包 可每小時生產(chǎn)300片晶圓 IT之家     2022-06-18 23:03    

6月18日消息,佳能宣布將于2022年8月初發(fā)售 KrF 半導(dǎo)體光刻機“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產(chǎn)能升級配件包(以下簡稱“Grade10”升級包)。 據(jù)介紹,KrF 半導(dǎo)體光刻機“FPA-6300ES6a”自發(fā)售至今,已經(jīng)在生產(chǎn)存儲器和邏輯電路的大型半導(dǎo)體器件制造廠商中收獲良好口碑。新發(fā)布的“Grade10”升級包能夠在 300mm 晶圓規(guī)格基礎(chǔ)上,實現(xiàn)每小時 300 片晶圓的高效率生產(chǎn)。此外,這一升級包將于2023年在 KrF 半導(dǎo)體光刻機“FPA-6300ES6a”的 200mm 兼容設(shè)備上得到應(yīng)用。

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