坐標測量機（Coordinate Measuring Machine，簡稱CMM）是有代表性的坐標測量儀器。早的坐標測量機是一個僅僅配備XYZ三軸數顯的三維設備。對于誰發(fā)明坐標測量機一直存在爭議。1950年代末，臺坐標測量設備可能是由意大利DEA(Digital Electronic Automation Spa)公司發(fā)明的門式結構并配置剛性測頭的測量機。幾個月后，蘇格蘭的Ferranti Metrology(現在的IMS )發(fā)明了懸臂測量機，配置數顯設備和剛性測頭。1959年，Ferranti發(fā)明了臺真正意義上的DCC(Direct Computer Assist) 坐標測量機。這臺坐標測量機的發(fā)明可以標志著坐標測量機正式走上歷史舞臺。同樣來自英國的LK Tool公司隨后發(fā)明了臺橋式坐標測量機，并在過去的數年中成為坐標測量機的標準構架。隨著越來越多制造商的加入并對測量機進行改造，懸臂測量機、橋式測量機、龍門測量機、水平臂測量機、門式測量機、活動平臺測量機、固定橋式測量機和關節(jié)臂測量機都成為坐標測量機的通用構架。

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