在測量領域中，光柵尺及以后的容柵、磁柵、激光干涉儀的出現(xiàn)，革命性地把尺寸信息數字化，不但可以進行數字顯示，而且為幾何量測量的計算機處理和控制打下基礎。

三坐標測量儀可定義為“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸的位移測量系統(tǒng) ( 如光學尺 ) 經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(X、Y、Z)及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度測量、定位精度測量、幾何精度測量及輪廓精度測量等。