擴(kuò)散型單晶硅是在單晶硅中, 用擴(kuò)散工藝摻入一定量的雜質(zhì),以改變其電學(xué)性質(zhì)和電阻率數(shù)值。
改變單晶硅導(dǎo)電類型的雜質(zhì),一類是磷、砷、銻, 摻雜后使單晶硅呈現(xiàn)電子型導(dǎo)電(N)型, 另一類是硼、鋁、鎵,攙雜后使單晶硅呈現(xiàn)空穴型導(dǎo)電(P)型。摻入雜質(zhì)的數(shù)量多少與單晶硅電阻率的高低有直接關(guān)系。
單晶硅是一種重要的半導(dǎo)體材料, 它是由多晶硅拉制而成的,過去多用來做晶體管、整流器及太陽能電池等。
隨著電子技術(shù)的進(jìn)步, 近些年來, 國內(nèi)外已研制成功壓阻應(yīng)變元件擴(kuò)散型單晶硅,并獲得應(yīng)用。
擴(kuò)散型單晶硅是在單晶硅中, 用擴(kuò)散工藝摻入一定量的雜質(zhì),以改變其電學(xué)性質(zhì)和電阻率數(shù)值。改變單晶硅導(dǎo)電類型的雜質(zhì),一類是磷、砷、銻, 摻雜后使單晶硅呈現(xiàn)電子型導(dǎo)電(N)型, 另一類是硼、鋁、鎵,攙雜后使單晶硅呈現(xiàn)空穴型導(dǎo)電(P)型。摻入雜質(zhì)的數(shù)量多少與單晶硅電阻率的高低有直接關(guān)系。根據(jù)下式可以求出所需要的電阻率:
擴(kuò)散型單晶硅是壓阻式的應(yīng)變元件,也可以說是一種固體硅電阻器, 其電阻變化與所承受的機(jī)械應(yīng)力成正比, 將它與懸臂梁機(jī)械地聯(lián)在一起并形成惠斯登電橋,可產(chǎn)生同振動(dòng)運(yùn)動(dòng)成正比的電信號(hào)。這一性能的取得給科學(xué)技術(shù)某些領(lǐng)域創(chuàng)造了新的應(yīng)用條件。
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