萬級凈化車間安裝:
1.生產設備之選擇、布置與保養(yǎng):
a.要選用發(fā)塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。
c.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規(guī)劃各并以容易清潔為則。
e.真空泵等容易產生污染物的這類設備,應設置在萬級凈化車間安裝外面或回風區(qū),并加裝排氣管線排氣。
f.設置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時,其構造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。
g.生產及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。
h.應加強注意室內的溫濕度控制,避免因濕度之不當造成結露生銹。
i.當設備維修時易產生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進行,并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商,應告知進出萬級凈化車間安裝之各項規(guī)定,且負責工程師應隨侍在側監(jiān)工。
k.應有萬級凈化車間安裝專用工具組,但不得帶出萬級凈化車間安裝外使用。
l.規(guī)劃空間時若能臨近萬級凈化車間安裝設立一間維修和設備保養(yǎng)手冊置放室,將是一理想之規(guī)劃。
2.生產設備之防塵措施:
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因,故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產生塵埃之設備,若能的話應布置于風尾地點。
c.在操作時,盡量減少接觸零件或產品。
d.不得有太大或不必要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。
e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。
f.為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應有旁路閥之設置。
3.自動化與無塵化:
a.設立自動化傳送系統(tǒng),可減少人員方面所帶來的污染,唯費用相當昂貴,須詳加評估。
b.建立管制項目如進入萬級凈化車間安裝人員的資格限定,萬級凈化車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則,萬級凈化車間安裝管理規(guī)則等,這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述,此處不再說明。
萬級凈化車間安裝之維護管理方面:
1.建筑物之維護管理:
a.建筑物內定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。
d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
2.環(huán)境測定與管理:
萬級凈化車間安裝內之運轉環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應每日定期量測,以確實掌握質量,若有數(shù)據(jù)異常,可立即做緊急處理。
3.防塵空調設備之維護管理:
a.溫、濕度及塵埃濃度管理,在前面以述及,唯其量測儀器應做定期校正檢驗,若有設備移動或施工時須做局部測量。
萬級凈化車間安裝停止運轉再開機要點管理:啟動后立即進行微塵粒子之測試,須萬級凈化車間安
裝恢復穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。