高純水設備(去離子水設備)是用純水機作為原水的基礎上，用陽離子樹脂罐+陰離子樹脂罐+陰陽離子混合樹脂罐處理水（大型機組可以使用EDI—電滲析來制取）。它是目前用來制備超純水、高純水不可替代的手段之一。其出水電導率可低于1uS/cm以下，出水電阻率達到1MΩ.cm以上，根據(jù)不同的水質及使用要求，出水電阻率可控制在1-18MΩ.cm之間。被廣泛應用在電子、電力超純水，化工，電鍍超純水，鍋爐補給水及醫(yī)藥用超純水等工業(yè)超純水，高純水的制備上。