這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更。紊流主要決定于雷諾數,也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個過濾器頂送的送風形式,則即使流速極低,也要產生上述各種結果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
噪聲控制
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準,目的在于保障操作正常進行,滿足必要的談話聯系及舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是:
1.煩惱的效應
由于噪聲,使人感到不安寧而產生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。
控制產品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
經濟和科技發(fā)達的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標準和規(guī)范標準,都規(guī)定了有關的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。該規(guī)范在重新修訂中。
GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級
等級
每立方米(升)空氣中≥0.5μm塵粒數
每立方米(升)空氣中≥5μm塵粒數
100
≤35*100 (3.5)
1000
≤35*1000(35)
≤250(0.25)
10000
≤35*10000(350)
≤2500(2.5)
100000
≤35*100000(500)
≤25000(25)
標準FS209E中的潔凈等級