產(chǎn)品名稱(chēng):砷烷 AsH3

其他名稱(chēng):砷烷、胂、氫化砷Arsine、Hydrogen arsenide．

分子式:AsH3

UN No.UN 2188

CAS No.7784-42-1

產(chǎn)品純度:99.5~99.999%

包裝說(shuō)明:40～47L鋼瓶 產(chǎn)品說(shuō)明（化學(xué)式：AsH3）又稱(chēng)砷化三氫、砷烷、胂。是簡(jiǎn)單的砷化合物，無(wú)色、劇毒、可燃?xì)怏w。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，AsH3是一種無(wú)色，密度高于空氣，可溶于水（200mL/L）及多種有機(jī)溶劑的氣體。它本身無(wú)臭，但空氣中有大約0.5ppm的胂存在時(shí)，它便可被空氣氧化產(chǎn)生輕微類(lèi)似大蒜的氣味。常溫下胂很穩(wěn)定，分解成氫和砷的速度非常慢，但溫度高于230°C時(shí)，它便迅速分解。主要應(yīng)用于擴(kuò)散、外延生長(zhǎng)、離子注入、化合物半導(dǎo)體用氣體、化學(xué)氣相淀積。產(chǎn)品應(yīng)用砷烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中外延硅的n型摻雜；硅中n型擴(kuò)散；離子注入；生長(zhǎng)砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與III/V族元素形成化合物半導(dǎo)體AsH3可用于合成與微電子學(xué)及固態(tài)雷射有關(guān)的半導(dǎo)體材料。與磷相似，砷是硅及鍺的n-摻染物注意事項(xiàng)發(fā)生泄漏時(shí)，應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并隔離直至氣體散盡，切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿廠商特別推薦的化學(xué)防護(hù)服(完全隔離)。切斷氣源，噴霧狀水稀釋、溶解，注意收集并處理廢水。然后抽排(室內(nèi))或強(qiáng)力通風(fēng)(室外)。如有可能，將漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至空曠地方或裝設(shè)適當(dāng)噴頭燒掉。漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過(guò)技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。