化學(xué)前驅(qū)體材料
叔丁基磷TBP.EPI叔丁基砷TBAs.EPI二（異丙氨基）硅烷前驅(qū)體材料 Precursor materialPrecursor material四氯化鈦（TiCl4）五(二甲氨基)鉭(V)
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