微小氣體流量計選型，西安儀表生產廠家4000系列

型號：mf4003 mf4008 mf4001

MF4000系列小流量氣體質量流量計是基于矽翔微機電系統(tǒng)有限

公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質

的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。

該流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作

狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質量的

氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定

的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統(tǒng)流量計

芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一

個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由

于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產生的

擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。