氫化鍺（Germane），也稱為鍺烷，是一種化學(xué)試劑、可用于制取高純度鍺。分子式為GeH4，分子量為76.63,與硅烷不同，鍺烷在空氣中不自燃。GeH4能與空氣混合而不發(fā)生化學(xué)變化，升溫至160℃-183℃才逐漸被氧化（在低壓下需要升溫至320℃才起反應(yīng)）。GeH4大約在280℃分解為鍺和氫，375℃迅速分解,鍺烷與過(guò)量氧的反應(yīng)按下式進(jìn)行：GeH4+ 2O2→ GeO2+ 2H2O,甲鍺烷在較高溫度下時(shí)分解為鍺和氫氣。這種對(duì)熱不穩(wěn)定性被用于半導(dǎo)體工業(yè)中，即有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法（MOVPE）。由于甲鍺烷毒性較大，某些有機(jī)鍺化合物（如異丁基鍺）可以替代甲鍺烷，應(yīng)用于MOVPE中。