潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

無塵車間生產(chǎn)工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內(nèi)空間密閉、平面布置曲折、風管交錯連通、復合裝修材料復雜，有的生產(chǎn)過程中使用易燃易爆物質(zhì)，一旦發(fā)生火災，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內(nèi)部還設有大量的昂貴儀器和設備，易造成重大的人員傷亡和財產(chǎn)損失。

進出潔凈室的管理

⒈進入潔凈室的人員應嚴格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順 序。退出潔凈室時，按如上順序、路線進行，不允許將潔凈用品帶至門廳。

⒉若有吹淋室，按規(guī)定進行吹淋后,方可進入潔凈室內(nèi)。同時，嚴格按照風淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進入風淋室風淋的人數(shù)，不允許正在風淋室強行關閉運行風機或電源。一般經(jīng)過風淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60 。

⒊為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)側(cè)不應放置物品，回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。

⒋不允許將與生產(chǎn)無關的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。

⒌嚴禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進行非生產(chǎn)性活動。

⒍進入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。

⒎戴帽時，應將頭發(fā)全部遮住，鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。

⒏脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。

⒐退出潔凈室時，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進入潔凈室內(nèi)，仍需按進入潔凈室的規(guī)定順序進行。

⒑退出潔凈室時，可以不需要經(jīng)過空氣吹淋而進入更換區(qū)域。

無塵室與擴散的效果類似，當過濾材料帶靜電時，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大，改變風速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變，如果你材料上有靜電，進行空調(diào)系統(tǒng)設計時就應該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。

對于以慣性機理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會減少，過濾效率會隨之降低，但在實踐中這種影響并不明顯，因為風速小了，纖維對粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。