濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

無塵車間生產(chǎn)工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內(nèi)空間密閉、平面布置曲折、風管交錯連通、復合裝修材料復雜，有的生產(chǎn)過程中使用易燃易爆物質(zhì)，一旦發(fā)生火災，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內(nèi)部還設有大量的昂貴儀器和設備，易造成重大的人員傷亡和財產(chǎn)損失。

火災蔓延途徑多、蔓延速度快。無塵車間內(nèi)通風管道、電氣線路套管、技術(shù)夾層等彼此串通，發(fā)生火災，特別是火勢初起未被發(fā)現(xiàn)而繼續(xù)送風，風管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區(qū)域，造成火災迅速蔓延。

無塵車間風管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應設鋼板厚度不小于1.6mm的預埋管或防護套管，無塵車間風管與防護套管之間應采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風管穿越建筑物變形縫空間時，應設置柔性短管，無塵車間風管穿越建筑物變形縫墻體時，應設置鋼制套管，無塵車間風管與套管之間應采用柔性防水材料填充密實。