潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

無塵車間生產(chǎn)工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內空間密閉、平面布置曲折、風管交錯連通、復合裝修材料復雜，有的生產(chǎn)過程中使用易燃易爆物質，一旦發(fā)生火災，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內部還設有大量的昂貴儀器和設備，易造成重大的人員傷亡和財產(chǎn)損失。

火災蔓延途徑多、蔓延速度快。無塵車間內通風管道、電氣線路套管、技術夾層等彼此串通，發(fā)生火災，特別是火勢初起未被發(fā)現(xiàn)而繼續(xù)送風，風管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區(qū)域，造成火災迅速蔓延。

無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：

⑴天花板系統(tǒng)

包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空調系統(tǒng)

包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。

⑶隔墻板（Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，滿足如下之條件：

A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；

B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

C.吸濕性?。?

D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。