拋光液作為金屬加工液檢測(cè)種類的重要一員,對(duì)金屬表面的打磨處理,滿足平坦化需求起著關(guān)鍵性的作用。拋光液適用于鉛錫合金, 銅, 鋅合金, 不銹鋼, 鋁合金, 鐵等金屬零部件的拋光, 光亮度可達(dá) 12 級(jí), 可取代多種進(jìn)口拋光劑和拋光粉。
拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。 拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過(guò)程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來(lái)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。它是控制拋光速率的另一個(gè)重要過(guò)程。
CMP拋光液利用“軟磨硬”的原理很好的實(shí)現(xiàn)了藍(lán)寶石表面的精密拋光。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,聚晶金剛石研磨液及二氧化硅溶膠拋光液的需求也與日俱增。
金屬試樣表面各組成相的電化學(xué)電位不同,形成了許多微電勢(shì),在化學(xué)溶液中會(huì)產(chǎn)生不均勻溶解。在溶解過(guò)程中試樣面表層會(huì)產(chǎn)生一層氧化膜,試樣表面凸出部分由于粘膜薄,金屬的溶解擴(kuò)展速度較慢,拋光后的表面光滑,但形成有小的起伏波形,不能達(dá)到十分理想的要求。在低和中等放大倍數(shù)下利用顯微鏡觀察時(shí),這種小的起伏一般在物鏡垂直鑒別能力之內(nèi),仍能觀察到十分清晰的組織。