無菌室一般是在微生物實驗室內專辟一個小房間??梢杂冒宀暮筒AЫㄔ臁C娣e不宜過大,約 4 — 5 平方米即可,高 2.5 米左右。無菌室外要設一個緩沖間,緩沖間的門和無菌室的門不要朝向同一方向,以免氣流帶進雜菌。無菌室和緩沖間都必須密閉。室內裝備的換氣設備必須有空氣過濾裝置。
通過NICOLER技術的改良,使車間達到無塵無菌的新高度。
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產濕度范圍為35—45%。
功能和特點
①綠色環(huán)保產品。 ②無污染、無異味。 ③良好的隔音效果。 ④符合國家防火標準。 ⑤色澤多樣化,可靈活調整、組合適用所需的工作空間.
設備的材質、來源及質量控制: ①材質 1、內外型材 常見內型材有熱熔鍍鋅鍍鋅鋼板、鋁合金等,具有彈性模量高、強度高、韌性好、熔點高,同時可以滿足隔音和防火的要求。 2、表面飾材 表面飾材包括玻璃和實體面板。玻璃有普通、鋼化和防彈玻璃,規(guī)格和參數(shù)各不相同,需要根據(jù)使用場所特性決定。實體面板包括多孔石膏板,碳化石灰板,混凝土板,鋁塑板和水泥木絲板等。 3、配套材料 配套材料包括百葉窗簾、玻璃、合頁、五金配件等。 ②質量控制:格滿林的材料產品,嚴格按照ISO9001-2008標準進行過程檢驗和質量控制。 在產品交接時,接受方應完成外觀和產品型號、規(guī)格和數(shù)量的驗收,在安裝后進行產品驗收。
萬級凈化,環(huán)境凈化的一種,主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣,將室內的污染逐漸排出,來實現(xiàn)潔凈效果。
萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣,將室內的污染逐漸排出,來實現(xiàn)潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回流或渦流,不同等級的無塵室,主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現(xiàn)。
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。