潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

空氣中的微生物無處不在，并常附著在塵埃粒子上，隨著塵埃、霧滴及皮屑、毛發(fā)等傳播?？諝庵械膲m埃粒子越多，附著在塵埃粒子上的機會越大，傳播的機會也增加。同樣，病毒也會附著在塵粒上并進行傳播。因此，控制空氣中塵粒的數(shù)量就可以控制附著在其上的微生物。

各種微生物的大小可如圖1-1所示。大部分微生物在于0.3μm。病毒是小的微生物,大約在0.005μm以上，其次是立克次氏體。種類很多，多數(shù) 在空氣中以群體形式存在。常見的大小為5.5～6.5μm，為3.1～3.9μm，采用空氣過濾器(0.5μm，過濾效率≥99.9%)基本 上可將它們除去。

SMT車間凈潔無塵車間溫濕度標準:

SMT車間對溫度和濕度有明確的要求，關于其對于SMT的重要性，在這里稍作解釋：

首先主要是為了錫膏能工作在一個較好的環(huán)境 ，溫度會影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性，終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點不光澤等現(xiàn)象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會使回流時產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現(xiàn)象。

無菌室內(nèi)空氣置換稀釋污染系統(tǒng)設計時應注意：潔凈空氣供應的體積應足以抵消空間中不斷產(chǎn)生的微粒數(shù)，以此維持工藝操作的基本條件要求；室內(nèi)空間供應的空氣應比普通維持條件下空氣更清潔；要求混合供應的清潔空氣應滿足去除房間內(nèi)含有微粒的空氣，以達到室內(nèi)空氣置換稀釋的作用。

微生物檢驗用器材及場所必須進行或處理，不同的對象采用不同的處理方法 1． 高壓蒸汽: 工作服、口罩、稀釋液等，置高壓鍋內(nèi)，一般采用121℃半小時,當然不同的培養(yǎng)基有不同的要求,應分別處理 2． 火焰：接種針、接種環(huán)等可直接火焰 3． 高溫干燥： 各種玻璃器皿、注射器、吸管等，置于燥箱中160℃2小時 4． 一 般: 無菌室內(nèi)的凳、工作臺、試管架、天平、待檢物容器或包裝均無法進行，必須用其他方法進行處理，采用2%石炭酸或來蘇兒水溶液擦拭，工作人員的手也用此法進行 5． 空氣的： 開啟紫外燈照射30—60分鐘 即可。