潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

電子廠房無塵車間施工，清潔要求

（1）清潔潔凈室內(nèi)的墻時應(yīng)使用潔凈室無塵布；

（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；

（3）使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室專用去污劑；

（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。

（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開始。

（6）清潔潔凈室的地面應(yīng)使用專用拖把。

（7）在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有過濾器的專用真空吸塵器。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點之一，排放前要做處理，使排風(fēng)負(fù)荷環(huán)保要求。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高：

1.電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)

2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

4.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的值：

5.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

無菌室內(nèi)空氣置換稀釋污染系統(tǒng)設(shè)計時應(yīng)注意：潔凈空氣供應(yīng)的體積應(yīng)足以抵消空間中不斷產(chǎn)生的微粒數(shù)，以此維持工藝操作的基本條件要求；室內(nèi)空間供應(yīng)的空氣應(yīng)比普通維持條件下空氣更清潔；要求混合供應(yīng)的清潔空氣應(yīng)滿足去除房間內(nèi)含有微粒的空氣，以達(dá)到室內(nèi)空氣置換稀釋的作用。

微生物檢驗用器材及場所必須進(jìn)行或處理，不同的對象采用不同的處理方法 1． 高壓蒸汽: 工作服、口罩、稀釋液等，置高壓鍋內(nèi)，一般采用121℃半小時,當(dāng)然不同的培養(yǎng)基有不同的要求,應(yīng)分別處理 2． 火焰：接種針、接種環(huán)等可直接火焰 3． 高溫干燥： 各種玻璃器皿、注射器、吸管等，置于燥箱中160℃2小時 4． 一 般: 無菌室內(nèi)的凳、工作臺、試管架、天平、待檢物容器或包裝均無法進(jìn)行，必須用其他方法進(jìn)行處理，采用2%石炭酸或來蘇兒水溶液擦拭，工作人員的手也用此法進(jìn)行 5． 空氣的： 開啟紫外燈照射30—60分鐘 即可。