潔凈室氣流組織考慮原則
當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。
工作區(qū)的氣流應均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風口。
工作設備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區(qū)氣流的上風側,以提高室內的空氣潔凈度。
潔凈室內有通風柜時,宜置于工作區(qū)氣流的下風側,以減少對室內的污染。
潔凈車間,亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
玷污物的污染包含對產品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細胞,一年脫落人體細胞約3.5公斤。
半導體潔凈室內微污染來源,經測試,作業(yè)人員占80% 。