凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當普遍。
矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風,采用扇形過濾器,也可以用普通過濾器配扇形送風口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風口,房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級(100級)潔凈度。
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。
這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風量(減少排風量);控制送風量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風量;選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風量的風機等入手。