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青島潔凈凈化技術(shù)有限公司

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淄博實驗室建設(shè),提供一站式服務(wù)

2024-04-28 09:00:01  958次瀏覽 次瀏覽
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整體性:“整體潔凈實驗室-生物實驗室”為客戶提供的是一站式“交鑰匙”工程,降低了采購成本,可減少客戶大量的精力、物力和人力的投入,客戶無需考慮過多的技術(shù)細節(jié)問題。

單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。

但在一個操作間,機器以及機器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。

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