無(wú)菌試驗(yàn)室-潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室整體解決方案,根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的要求和使用要求,要不同于一般的實(shí)驗(yàn)室工程或凈化工程。從本公司自身特點(diǎn)來(lái)看,憑借對(duì)用戶(hù)需求的深刻理解,精湛的咨詢(xún)顧問(wèn)和工程設(shè)計(jì)施工方面的專(zhuān)家隊(duì)伍,先進(jìn)的規(guī)劃運(yùn)營(yíng)理念和與國(guó)際品牌供應(yīng)商的良好合作關(guān)系,形成了一套完善的潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室解決方案。它具有高性、專(zhuān)業(yè)化、整體性、模塊化、標(biāo)準(zhǔn)化等特點(diǎn)
有了整體潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室解決方案,就如同為客戶(hù)提供一個(gè)統(tǒng)一的界面,將所有的設(shè)備供應(yīng)商、工程承包商、服務(wù)供應(yīng)商整合在一起,系統(tǒng)化的進(jìn)行設(shè)備配置,保證了整個(gè)潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的容量和設(shè)備間的配套,滿(mǎn)足當(dāng)前和未來(lái)發(fā)展的需要。此外為用戶(hù)提供的合同制的服務(wù),保障了用戶(hù)得到長(zhǎng)期的甚至終生的服務(wù)維護(hù),充分保證了客戶(hù)投資的利益。
亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。