前幾天,有一則不太起眼的IT科技新聞,使得尼康的粉絲們覺得信心大增,據Arete Research公司的分析師 Jagadish Iyer透露,與目前Intel 32nm節(jié)點制程用沉浸式光刻機為尼康公司供貨的情況不同,到22nm制程節(jié)點,Intel將同時使用尼康和另外一家主要的光刻機廠商ASML的沉浸 式光刻設備進行生產。過去在Intel的45nm制程節(jié)點,他們同樣采用的是產自尼康和ASML兩家公司的193nm干式光刻設備,不過到32nm制程節(jié)點,Intel開始轉向使用193nm沉浸式光刻技術,而光刻設備的供應商也從原來的兩家供貨變成了由尼康供貨。預計在22nm制程節(jié)點,Intel會繼續(xù)使用193nm沉浸式光刻技術,不過這次光刻設備供應商則又恢復由尼康和ASML兩家同時供貨的局面。
據報道,ASML公司會向Intel公司供貨18臺NXT光刻機;而尼康公司則將向Intel公司供貨25臺S620D光刻機。ASML TwinScan NXT:1950i機型的平均售價為4000萬歐元(5470萬美元),而尼康NSR-S620D的價格則約為3000萬美元。“目前Intel的工廠里面只安裝有三部ASML公司的NXT光刻機,不過預計在未來6個月內,會再有2-3臺這樣的設備會到貨安裝?!边@位分析師表示, “由于ASML的NXT光刻機目前從客戶訂貨到光刻機到廠需要等待9個月左右,這樣我們預計Intel會在未來三個月之內向ASML公司訂貨,這樣這些設 備才有可能于今年11月份到貨。根據我們的預計,Intel向ASML購買的50%數量的NXT光刻機均將于11月份到貨,而剩下的一半則會于12月份到 貨。”
光刻機堪稱現代光學工業(yè)之花,其制造難度之大,到現在全世界也不過兩三家公司能夠制造而已。尼康能夠生產光刻機,完全建立在他的光學設計和制造能力的基礎上的,這次就聊一聊尼康的超顯微尼克爾鏡頭:Ultra-micro-nikkor。
提起尼康鏡頭,大家津津樂道的往往是AFS那三只2.8恒定光圈的大三元,或者像28/1.4D,55/1.2NOCT這樣特殊的經典鏡頭,殊不知,尼康的產品,無不集中在工業(yè)或者醫(yī)學用鏡頭中。比如醫(yī)用的Medical Nikkor,專為紫外攝影設計的UV nikkor,還有我們今天要聊的超顯微Ultra-micro-nikkor。
在二十世紀五十年代,微距攝影的用途與我們現在常見的大不一樣,并非用于拍花花草草之類的風月照片,而是多用于拍攝文檔,資料等做影印拷貝,工業(yè)上復制圖紙也要用到微距頭(現在復制圖紙還俗稱曬圖紙,就是從那時候傳下來的)。之前我們在介紹蔡司ZF卡口鏡頭的時候曾經說過,50微的前身就是工業(yè)用制版鏡頭。
50年代日本經濟的高速發(fā)展對于文件復制有了巨大的需求,于是進口了不少美國產的顯微復制相機,但是這些鬼畜相機是按照翻拍拉丁字符的分辨率來設計的,日文里有大量的漢字,鬼畜相機分辨率不足,很耽誤事。于是很多公司都要求日本的鏡頭廠商推出能夠滿足復制日文的高分辨率顯微鏡頭。
1956年10月,當時的Nippon Kogaku(尼康那時候還叫日光:日本光學)推出了只用于135相機的顯微攝影鏡頭:Micro Nikkor 5cm F3.5。鏡頭的設計者是當時的鏡頭設計專家的Zenji Wakimoto(脅本善司).
到了二十世紀60年代早期,日本的一些電子企業(yè)和印刷企業(yè)對日本光學生產的顯微鏡頭提出了新的要求——希望能得到更高分辨率的顯微鏡頭。這是因為很多電氣公司已經開始研發(fā)集成電路,他們需要高分辨率的顯微鏡頭來對半導硅進行電路的光刻。日本光學公司于是開始著手研制新的超高分辨率的顯微鏡頭,集成電路進化到超大規(guī)模集成電路時,對于光刻機鏡頭分辨率上的要求早已超出了普通顯微鏡頭分辨率的極限!
生產超高分辨率的鏡頭,難點并不只是需要精妙絕倫的光學設計,而且還需要精度的鏡片打磨和裝配精度。在當時的技術條件下鏡片無法用機器切割和打磨,完全是靠手工,可以這么說,日本光學的工程師不僅是能工巧匠,同時也是鏡頭的超級發(fā)燒友,他們帶著極大的熱情來研制這些新鏡頭。經過嚴格的測試和調校,日本光學在1964年終于完成了只超高解象度鏡頭的研發(fā),這只用黑色記號筆寫著通過測試的105/2.8顯微鏡頭,被裝在一個結實而華麗的木頭盒子里,它的名字叫“Ultra-Micro-Nikkor”。而“Ultra”這個單詞用在這只鏡頭上,倒是另有一段有意思的小八卦:
1964年奧運會在日本東京舉辦, “Ultra”這個單詞隨著奧運會在日本迅速流行起來(就像是經過了某一件事情,操,你該先感謝郭嘉這句話也在中國流行起來一樣)。在體操的運動項目里,高難度的動作被稱做“Ultra C”,電視里不斷反復播報的日本運動員獲得的新聞,被稱為“Ultra”,電視節(jié)目也叫“Ultra Q”,那些日子里,連小孩看的一個電視節(jié)目也叫“Ultra Man”。所以,這只鏡頭在當時也起了一個時髦的名字。
Ultra-Micro-Nikkor 105/2.8的問世和接下來Ultra系列鏡頭的生產,是日本光學工業(yè)的里程碑,也成為集成電路工業(yè)的基石。