半導體廠潔凈工程 電子廠無塵車間裝修施工咨詢上海順外

在半導體凈化車間裝修時，要求時根據(jù)行業(yè)不同，車間操作不同來劃分等級來裝修的。其中在半導體集成電路生產(chǎn)的光刻工序中，硅片露出在生產(chǎn)環(huán)境中，污染概率很高時元器件的廢品率也會很高，所以為避免出現(xiàn)這種傷害，現(xiàn)階段在超大規(guī)模半導體集成電路的潔凈廠房中一般選用微環(huán)境，把加工工藝核心區(qū)隔離，在微環(huán)境的隔離區(qū)內(nèi)做到所規(guī)定的空氣潔凈度等級和環(huán)境控制規(guī)定(M度、相對濕度、壓力)。工作區(qū)域是由人和/或自動處理設備對晶片開展加工的區(qū)域，為保障作業(yè)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)品免被污染，一般選用單向流或微環(huán)境把人和露出的產(chǎn)品隔離。

一、基本要求

1、承擔潔凈廠房裝修施工企業(yè)，應具有相應工程施工資質(zhì)及其等級，并應具有完善的質(zhì)量管理體系。?上海順外凈化科技有限公司施工資質(zhì)齊全，所有項目均可通過第三方檢測。

2、潔凈車間的施工應按設計文件、合約的內(nèi)容實施。當修改設計時，應經(jīng)原設計單位的確認、簽證，并得到建設單位的同意。

3、潔凈車間施工前應根據(jù)具體工程項目的特點，制訂施工方案和程序，做到各工種協(xié)調(diào)施工、階段明確、交接清楚，確保整體施工質(zhì)量和操作。

4、施工企業(yè)承擔對潔凈車間工程內(nèi)各專業(yè)設計圖紙進行深化的施工詳圖設計時，應執(zhí)行現(xiàn)行國家標準《潔凈車間設計規(guī)范》GB50073的相關規(guī)定，并應加強設計質(zhì)量管理，具有質(zhì)量管理體系，施工詳圖應得到原設計單位的書面同意或確認，并得到建設單位的同意后，方能進行施工。

5、潔凈車間工程竣工驗收的系統(tǒng)調(diào)試，應在建設單位和監(jiān)理單位的共同參與下進行，由施工企業(yè)負責進行系統(tǒng)調(diào)試、檢測，承擔調(diào)試的單位應具有調(diào)試、檢測專職技術人員和符合本規(guī)范規(guī)定的測試儀器。

二、半導體凈化車間設計

設計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設備、風管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

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