對(duì)于要求比較高的無塵車間，還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層，再通過鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來達(dá)到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來達(dá)到防靜電功能。一般來說，電子無塵車間對(duì)防靜電的要求會(huì)比較高。

為達(dá)到潔凈水平，無塵車間的設(shè)置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護(hù)管理等，其中空氣凈化措施是達(dá)到潔凈水平的根本保證。

在決定無塵車間的設(shè)計(jì)之前，必須仔細(xì)考慮工廠的工作性質(zhì)和氣流條件。在粉塵排放量較大的無塵車間內(nèi)，不要使用地面送風(fēng)，以免進(jìn)入其他需要清潔的工作場(chǎng)所。

無塵車間必須防止外界空氣進(jìn)入室內(nèi)，室內(nèi)必須保持正壓才能達(dá)到目的。為了獲得必要的室內(nèi)壓力，必須添加適當(dāng)?shù)男迈r空氣。

在整個(gè)集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會(huì)成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o塵車間的廢品問題之一。