為達(dá)到潔凈水平，無塵車間的設(shè)置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護(hù)管理等，其中空氣凈化措施是達(dá)到潔凈水平的根本保證。

無塵車間的設(shè)計(jì)并不像想象的那么簡單，它是一個大工程，需要消耗大量的能源，尤其是空調(diào)。因此，在設(shè)計(jì)和施工中，必須注意節(jié)能措施、系統(tǒng)和區(qū)域劃分、風(fēng)量計(jì)算、溫度和相對濕度的確定。在該區(qū)域，為保證無塵車間的全過程調(diào)節(jié)，空調(diào)箱應(yīng)根據(jù)氣候條件選擇自動控制裝置。另外，空調(diào)房設(shè)計(jì)在無塵車間內(nèi)。這樣既節(jié)約了能源，又使氣流組織更加合理。

在決定無塵車間的設(shè)計(jì)之前，必須仔細(xì)考慮工廠的工作性質(zhì)和氣流條件。在粉塵排放量較大的無塵車間內(nèi)，不要使用地面送風(fēng)，以免進(jìn)入其他需要清潔的工作場所。

無塵車間必須防止外界空氣進(jìn)入室內(nèi)，室內(nèi)必須保持正壓才能達(dá)到目的。為了獲得必要的室內(nèi)壓力，必須添加適當(dāng)?shù)男迈r空氣。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o塵車間的廢品問題之一。