在整個(gè)集成電子無(wú)塵車(chē)間中，電路的尺寸技術(shù)可以說(shuō)是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無(wú)塵車(chē)間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無(wú)塵車(chē)間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無(wú)塵車(chē)間中會(huì)成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦?lèi)似是電子無(wú)塵車(chē)間的廢品問(wèn)題之一。

在平時(shí)，工作人員除了需要定期進(jìn)行盆浴或淋浴外，還應(yīng)當(dāng)定期洗頭。保持身體的清潔，盡量減少死皮數(shù)量。同時(shí)，在每次進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間之前，都應(yīng)該對(duì)手進(jìn)行徹底的清潔。平時(shí)看起來(lái)挺干凈的手，其實(shí)也是一大污染源，能夠?qū)⑽廴疚飶囊惶巶鞯搅硪惶?。在清洗的時(shí)候，尤其應(yīng)該注意指甲、指甲根部和手上的傷處。

在工作中，工作人員應(yīng)當(dāng)盡量避免或者減少接觸設(shè)備的產(chǎn)品的次數(shù)，如果可以，還是采取全自動(dòng)的生產(chǎn)流程。如果一定要接觸的話，應(yīng)該先洗干凈手，并且戴上手套，防止對(duì)設(shè)備和產(chǎn)品造成污染。

對(duì)于要求比較高的無(wú)塵車(chē)間，還需要做無(wú)塵車(chē)間地面的防靜電處理。通過(guò)使用防靜電水磨石做面層，再通過(guò)鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來(lái)達(dá)到防靜電效果。如果無(wú)塵車(chē)間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來(lái)達(dá)到防靜電功能。一般來(lái)說(shuō)，電子無(wú)塵車(chē)間對(duì)防靜電的要求會(huì)比較高。