在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。

為達到潔凈水平，無塵車間的設(shè)置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護管理等，其中空氣凈化措施是達到潔凈水平的根本保證。

在工作中，工作人員應(yīng)當盡量避免或者減少接觸設(shè)備的產(chǎn)品的次數(shù)，如果可以，還是采取全自動的生產(chǎn)流程。如果一定要接觸的話，應(yīng)該先洗干凈手，并且戴上手套，防止對設(shè)備和產(chǎn)品造成污染。

水磨石無塵車間地面，施工質(zhì)量會失控。金屬隔珊通風地面，用于垂直單項流無塵車間作為回風隔柵使用，一般采用多孔板。粘貼性無塵車間地面，有聚氯乙烯軟板，聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式，具有一定的彈性，耐磨不起塵，易清洗，耐腐蝕，防靜電，但整體性差，接縫和粘貼施工質(zhì)量失控后，影響使用效果，適用于電子、精密制造的一般無塵車間。