場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)：

放大倍數(shù)：30倍-80萬(wàn)倍

加速電壓：0.5-30kKV

點(diǎn)分辨率：1.0nm (15 kV)； 1.4nm(1 kV, WD = 1.5mm, 減速模式)

信號(hào)選擇：二次電子模式和背散射模

樣品臺(tái)直徑：50mm

傾轉(zhuǎn)角：T: -5-70°,R:360°

X射線(xiàn)能譜儀元素分析范圍：B5～U92

X射線(xiàn)能譜儀能量分辨率：130 eV

應(yīng)用范圍：

SU8020是日立SU8000系列超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，擁有的高分辨性能、先進(jìn)的探測(cè)技術(shù)和友好的用戶(hù)界面，使它能夠和清楚地捕捉短暫的瞬間。 儀器采用了新型ExB式探測(cè)器和電子束減速功能，提高了圖像質(zhì)量，尤其是將低加速電壓下的圖像質(zhì)量提高到了新的水平；其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測(cè)器設(shè)計(jì)上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號(hào)，實(shí)現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測(cè)；還選配的STEM探測(cè)器，還可以實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的觀測(cè)，同時(shí)配備有高性能的HORIBA EX-350，可同時(shí)進(jìn)行微區(qū)、亞微區(qū)成分定性和定量以及元素分布分析。

形貌分析：

通過(guò)形貌分析可獲得樣品的形貌、粒徑、分散性等相關(guān)信息，同時(shí)還可通過(guò)專(zhuān)用的背散射探頭對(duì)金屬、陶瓷樣品的質(zhì)厚襯度像進(jìn)行進(jìn)一步的表征，可用于納米材料、金屬材料、薄膜材料、半導(dǎo)體材料、陶瓷材料、生物組織形貌像的觀 察，同時(shí)還可對(duì)材料斷口和失效模式進(jìn)行分析。

成分分析：

微區(qū)成分分析，通過(guò)對(duì)樣品微區(qū)、亞微區(qū)成分進(jìn)行分析定性、定量分析，可確定樣品的組成?？蛇x擇性的對(duì)樣品進(jìn)行能譜點(diǎn)測(cè)、能譜線(xiàn)掃、能譜面分布分析，獲得樣品中的元素在一個(gè)點(diǎn)、一條線(xiàn)、一個(gè)面上的分布情況。