aerotech ANT130XY雙軸XY納米定位級平臺

我們的超精密ANT130XY載物臺采用集成的雙軸設(shè)計，可提供的平面性能和出色的幾何特性。ANT130XY載物臺配備剛性、抗蠕變交叉滾子軸承、高分辨率位置反饋和無鐵芯直線電機，可實現(xiàn)平穩(wěn)、的運動，并通過超高精度2D校準(zhǔn)進(jìn)一步增強，以優(yōu)化苛刻的檢測和制造工藝。此外，動態(tài)優(yōu)化的設(shè)計可實現(xiàn)令人印象深刻的速度和工藝吞吐量。

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設(shè)計特點

增強的第二代設(shè)計

實現(xiàn)小增量運動至 0.5 nm - 新

通過集成的 XY 設(shè)計優(yōu)化正交性、直線度和平整度

通過 ULTRA 校準(zhǔn)選件保證 ±225 nm 或更高的二維精度

采用高精度交叉滾子軸承，具有出色的動態(tài)性能和充足的負(fù)載能力

通過無鐵芯直驅(qū)直線電機限度地提高過程吞吐量和可靠性

主要應(yīng)用

ANT130XY非常適合需要高精度和動態(tài)定位性能的多軸應(yīng)用，包括：

光子學(xué)組裝和檢查

光纖對準(zhǔn)和優(yōu)化

光學(xué)制造、測試和檢驗

傳感器測試和認(rèn)證

半導(dǎo)體加工和檢測

表面計量和剖面測量

研究和實驗室應(yīng)用

超精密載物臺設(shè)計

ANT130XY的集成雙軸設(shè)計允許您優(yōu)化關(guān)鍵的幾何元素，如正交性，直線度和平整度，從而產(chǎn)生具有出色運動特性的載物臺。我們的直接驅(qū)動技術(shù)沒有滯后或間隙，可在 X 和 Y 尺寸上實現(xiàn)且可重復(fù)的納米級運動。ANT130XY 提供三種行程選項，范圍從 60 mm x 60 mm 到 160 mm x 160 mm，所有行程均具有 85 mm 的緊湊總高度。

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非接觸式直接驅(qū)動

只有非接觸式直接驅(qū)動技術(shù)才能提供大規(guī)模生產(chǎn)精密設(shè)備所需的堅固、準(zhǔn)確和高速定位。ANT130XY載物臺使用我們先進(jìn)的直接驅(qū)動技術(shù)來實現(xiàn)水平的定位性能。ANT130XY 與抗蠕變交叉滾子軸承相結(jié)合，可提供超平穩(wěn)、一致的運動和出色的動態(tài)特性，從而增強您的加工能力。優(yōu)化的驅(qū)動和軸承組合采用緊湊的外形尺寸封裝，在許多應(yīng)用中具有明顯的性能優(yōu)勢，例如高精度定位、光纖對準(zhǔn)、光學(xué)制造和檢測、傳感器測試和掃描過程，這些都需要平穩(wěn)和的運動。

靈活的系統(tǒng)設(shè)計

ANT130XY 系列具有通用安裝和桌面模式，便于系統(tǒng)集成。ANT130XY載物臺可輕松與其他產(chǎn)品（包括ANT130LZ、ANT130R、ANT130V、ANT20G等）結(jié)合使用，以提供復(fù)雜、多自由度的運動和定位解決方案。

超高性能等級選項

為了從我們的多軸納米定位系統(tǒng)獲得的系統(tǒng)精度，我們開發(fā)了一種先進(jìn)的動態(tài)軌跡校準(zhǔn)系統(tǒng)。為了利用這種復(fù)雜的校準(zhǔn)系統(tǒng)，機械系統(tǒng)在我們的計量實驗室中進(jìn)行了完全組裝、功能測試和校準(zhǔn)。納米級系統(tǒng)精度只能在嚴(yán)格的環(huán)境條件下實現(xiàn)，這些條件確保使用的測試設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)，使用我們行業(yè)的控制器的精度機械元件和ULTRA軟件功能。通過使用ANT130XY實現(xiàn)ULTRA動態(tài)軌跡校準(zhǔn)，我們能夠產(chǎn)生±225 nm或更好的保證二維精度。

規(guī)格中提供的曲線說明了標(biāo)準(zhǔn) ANT130XY 與 ULTRA 版本之間的性能差異。ULTRA 校準(zhǔn)幾乎消除了偏航引起的直線度、正交性和精度誤差。

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