國內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點(diǎn)是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

為了進(jìn)一步極限化的提高銦錫的收率，進(jìn)一步簡化工序，提升生產(chǎn)效率，減少環(huán)境污染，此次在基于氯化錫具有相對較低沸點(diǎn)的特性的基礎(chǔ)上，設(shè)計了“鹽酸浸出—蒸餾分離銦錫—鋅或鋁置換銦—蒸出錫提純制五水氯化錫/蒸出酸回用”的技術(shù)方案，并進(jìn)行了系統(tǒng)的試驗驗證。

2017年6月，工信部發(fā)布《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2017年版）》，提出了平板顯示用ITO靶材、平板顯示用高純鉬靶材等重點(diǎn)新材料的應(yīng)用領(lǐng)域。伴隨ITO技術(shù)和產(chǎn)能突破瓶頸，國產(chǎn)ITO靶材憑借成本和性價比優(yōu)勢將逐步占領(lǐng)市場。

全球銦資源的分布也極不平衡，我國是世界上銦資源豐富的國家，已探明儲量占比達(dá)72.7%。同時，受進(jìn)口靶材免稅政策即將到期的影響，未來進(jìn)口靶材的成本有可能會大大增加，從而使國產(chǎn)ITO靶材供應(yīng)成本優(yōu)勢更加顯著。