火濕法聯(lián)合類的主要工藝為以氫氣還原得到銦錫合金，合金再通過精細(xì)化的電解精煉進(jìn)行銦錫的分離等；該技術(shù)的缺點(diǎn)是錫主要存在于陽極泥中，銦電解過程中的陽極殘級(jí)率高，銦的回收率﹤98%。

采用蒸餾法進(jìn)行銦錫的分離及資源化試驗(yàn)，在油浴溫度132 ℃左右，蒸餾5 h左右，可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率；本試驗(yàn)工藝可得到99.97%純度的金屬銦產(chǎn)品的同時(shí)，還可繼續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)的副產(chǎn)品五水氯化錫。蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。

全球銦資源的分布也極不平衡，我國是世界上銦資源豐富的國家，已探明儲(chǔ)量占比達(dá)72.7%。同時(shí)，受進(jìn)口靶材免稅政策即將到期的影響，未來進(jìn)口靶材的成本有可能會(huì)大大增加，從而使國產(chǎn)ITO靶材供應(yīng)成本優(yōu)勢更加顯著。

目前中國ITO靶材供應(yīng)超一半左右依賴進(jìn)口。本土廠商生產(chǎn)的ITO靶材主要供應(yīng)中低端市場，僅占國內(nèi)市場30%的份額；而高端TFT-LCD、觸摸屏用ITO靶材幾乎全部從日本、韓國進(jìn)口，占據(jù)了70%的市場份額。