國內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

還有學(xué)者采用萃取法對廢液晶屏中銦錫等進行分離和回收，僅停留在試驗室階段，未能實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。火法類主要的提取方式為氫氣還原廢靶粉得到銦錫合金，合金再經(jīng)真空蒸餾分離得到粗銦和粗錫，該方法同樣存在銦錫分離不徹底的問題，粗錫中含銦高達1%以上，銦直收率﹤98%。

火濕法聯(lián)合類的主要工藝為以氫氣還原得到銦錫合金，合金再通過精細化的電解精煉進行銦錫的分離等；該技術(shù)的缺點是錫主要存在于陽極泥中，銦電解過程中的陽極殘級率高，銦的回收率﹤98%。

試驗結(jié)果表明，基于蒸餾法的銦錫資源化工藝可實現(xiàn)更徹底的銦錫分離效果：在實現(xiàn)99.52%的錫去除率的同時，銦的收率高達99.70%。本研究在獲得更高的銦錫直收率的同時，可得到高品質(zhì)的金屬銦產(chǎn)品及副產(chǎn)品五水氯化錫；且蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后可回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時實現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。