半導(dǎo)體主要成分：半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

半導(dǎo)體酸堿性廢氣：

工藝流程： 酸/堿性廢氣→酸/堿式洗滌塔→離心風(fēng)機(jī)→煙囪（達(dá)標(biāo)排放）

半導(dǎo)體有機(jī)類廢氣VOCs

收集廢氣→沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置→TO直燃式焚燒爐

同時(shí)整套裝置安q、可靠、無任何二次污染。

由于半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)操作室清潔度要求，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

半導(dǎo)體酸堿廢氣凈化工藝方法