超純水處理設備，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

超純水處理設備又稱超純水機，超純水設備，超純水儀，超純水系統(tǒng)，實驗室超純水器等。

隨著科學技術的不斷進步，我國藥典對醫(yī)藥用水的法定制備方法進行了重新定義。因其使用的范圍不同而分為純化水、注射用水及注射用水，首次將過去的蒸餾水改為純化水，并且對純化水具體定義為"純化水為采用蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其它適宜的方法制得供藥用的水"。