產(chǎn)品簡介：

MF4300系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是2008年首次發(fā)布的

MF4000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)的第三代升級版。

MF4300采用本公司專有的系列氣體質(zhì)量流量計(jì)

MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術(shù)和智能電子

技術(shù)。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨(dú)

特的時域流量傳感技術(shù)消除了一些常見氣體的敏感性。而

對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實(shí)現(xiàn)氣體識別。

MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防

油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量

傳感技術(shù)還提供了更好的線性度，并使溫度效應(yīng)大幅降

低。

MF4300系列氣體質(zhì)量流量計(jì)能直接測量氣體質(zhì)量流

量，工作壓力提高到適用于各類清潔、干燥氣體。MF4300

1 0MPa 0 10SLPM 0 200SLPM .，測量范圍涵蓋~到~。2

MF4300多種信號輸出，通過RS485 I C通訊接口提供或數(shù)字

可實(shí)現(xiàn)。MF4300具備LED數(shù)字顯示和遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集與設(shè)置

按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量計(jì)的參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

質(zhì)量流量，時域傳感技術(shù)

量程比100：1

全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性

可測量多種氣體不需要特別修正

模擬電壓、RS485 Modbus、I C等多種輸出信號2

支持多種連接方式，易于安裝與使用

工作原理：

MF4300系列的氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于迪川儀器儀表有

限公司研制流量傳感芯片，其原理是利用流動氣MEMS

到氣體的質(zhì)量流量。

該流量計(jì)的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感

器。當(dāng)沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩(wěn)

定的溫度場分布。當(dāng)有氣體流過時，微熱源周邊會形成新

的溫度場分布。MEMS芯片上的溫度傳感器將測量到具體的

溫度變化并轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)放大、調(diào)理和線性化處理

后，通過LED顯示或模擬、數(shù)字信號輸出。由于不同種類的

氣體對微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的溫度變

化不同，所以能測量氣體的質(zhì)量流量。