在制造環(huán)境中,人們所關(guān)注的微粒尺寸一般都比較大,它們不會像煙霧那樣散開,而會掉到組件的表面上,所以與在半導體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外,人們關(guān)注的范圍也越來越窄,需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間,小的在40至60μm之間,例如金屬、類污染物。這些用戶的目標與常規(guī)潔凈室用戶的沒有什么兩樣:防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。
單向流潔凈室:單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
有足夠的風量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。