除了凈化技術(shù)，電子廠凈化車間還需進(jìn)行空氣流動管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制。空氣流量控制可以確保車間內(nèi)的空氣量充足，滿足生產(chǎn)所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域，有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內(nèi)的氣壓差，防止外界的空氣進(jìn)入凈化區(qū)域?？諝饬鲃庸芾淼暮侠響?yīng)用，可以保持車間內(nèi)空氣的潔凈狀況。

電子廠凈化車間在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)中起到了至關(guān)重要的作用。通過凈化技術(shù)、空氣流動管理、溫濕度控制以及其他要素的綜合應(yīng)用，可以確保車間內(nèi)的空氣質(zhì)量和環(huán)境符合要求，為電子產(chǎn)品的質(zhì)量、可靠性和穩(wěn)定性提供可靠的保障。

微?？刂剖謬?yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴(yán)格。

高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。

對微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實可行的規(guī)定

對防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬㎡

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復(fù)合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

2、層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。

3、復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。