一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來(lái)制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點(diǎn)就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因?yàn)樵趦蓚€(gè)電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場(chǎng)合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡?wèn)題，對(duì)于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒(méi)有間斷過(guò)

20世紀(jì)初，麥克風(fēng)由初通過(guò)電阻轉(zhuǎn)換聲電發(fā)展為電感、電容式轉(zhuǎn)換，大量新的麥克風(fēng)技術(shù)逐漸發(fā)展起來(lái)，這其中包括鋁帶動(dòng)圈等麥克風(fēng)，以及當(dāng)前廣泛使用的電容麥克風(fēng)和駐極體麥克風(fēng)。圈麥克風(fēng)的工作原理是以人聲通過(guò)空氣使震膜振動(dòng)，然后在震膜上的電磁線圈繞組和環(huán)繞在動(dòng)圈麥頭的磁鐵形成磁力場(chǎng)切割，形成微弱的波動(dòng)電流。電流輸送到擴(kuò)音器，再以相反的過(guò)程把波動(dòng)電流變成聲音

指向性

指向性也叫話筒的極性( polar pattern)，它指話筒拾取來(lái)自不同方向的聲音的能力。一般分全向型、心型、超心型、8字型 [5] 。

全向型(Omnidirectional)也叫無(wú)方向型，它對(duì)各個(gè)方向的聲音有相同的靈敏度。心型(Cardioid)屬指向型話筒，前端靈敏度強(qiáng)，后端靈敏度弱。超心型(Supercardioid)拾音區(qū)域比心型話筒更窄，但后端也會(huì)拾取聲音。8字型分別從前方和后方拾取聲音，但不從側(cè)面(90度角)拾音

有動(dòng)圈式、電容式、駐極體和近新興的硅微傳聲器，此外還有液體傳聲器和激光傳聲器。

動(dòng)圈傳聲器音質(zhì)較好，但體積龐大。

駐極體傳聲器體積小巧，成本低廉，在電話、手機(jī)等設(shè)備中廣泛使用。

硅微麥克風(fēng)基于CMOSMEMS技術(shù)，體積更小。其一致性將比駐極體電容器麥克風(fēng)的一致性好4倍以上，所以MEMS麥克風(fēng)特別適合高性價(jià)比的麥克風(fēng)陣列應(yīng)用，其中，匹配得更好的麥克風(fēng)將改進(jìn)聲波形成并降低噪聲。