一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來(lái)制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點(diǎn)就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因?yàn)樵趦蓚€(gè)電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場(chǎng)合偏置電壓很難滿足。基于上述問(wèn)題，對(duì)于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒(méi)有間斷過(guò)

電容型

電容式麥克風(fēng)有兩塊金屬極板，其中一塊表面涂有駐極體薄膜（多數(shù)為聚全氟乙丙烯）并將其接地，另一極板接在場(chǎng)效應(yīng)晶體管的柵極上，柵極與源極之間接有一個(gè)二極管。當(dāng)駐極體膜片本身帶有電荷，表面電荷地電量為Q，板極間地電容量為C，則在極頭上產(chǎn)生地電壓U=Q/C，當(dāng)受到振動(dòng)或受到氣流地摩擦?xí)r，由于振動(dòng)使兩極板間的距離改變，即電容C改變，而電量Q不變，就會(huì)引起電壓的變化，電壓變化的大小，反映了外界聲壓的強(qiáng)弱，這種電壓變化頻率反映了外界聲音的頻率，這就是駐極體傳聲器地工作原理

有動(dòng)圈式、電容式、駐極體和近新興的硅微傳聲器，此外還有液體傳聲器和激光傳聲器。

動(dòng)圈傳聲器音質(zhì)較好，但體積龐大。

駐極體傳聲器體積小巧，成本低廉，在電話、手機(jī)等設(shè)備中廣泛使用。

硅微麥克風(fēng)基于CMOSMEMS技術(shù)，體積更小。其一致性將比駐極體電容器麥克風(fēng)的一致性好4倍以上，所以MEMS麥克風(fēng)特別適合高性?xún)r(jià)比的麥克風(fēng)陣列應(yīng)用，其中，匹配得更好的麥克風(fēng)將改進(jìn)聲波形成并降低噪聲。

內(nèi)置麥克風(fēng)：

內(nèi)置麥克風(fēng)是指設(shè)置在數(shù)碼攝像機(jī)內(nèi)的麥克風(fēng)，用作拍攝錄音之用。作為視頻和音頻的記錄裝置，數(shù)碼攝像機(jī)的麥克風(fēng)當(dāng)然不能馬虎。對(duì)于消費(fèi)級(jí)的數(shù)碼攝像機(jī)來(lái)說(shuō)，很多麥克風(fēng)都安裝在機(jī)體里面，這樣的好處是能節(jié)省空間，真正實(shí)現(xiàn)，消費(fèi)數(shù)碼攝像機(jī)方便的理念，但是這樣一來(lái)，內(nèi)置麥克風(fēng)可能會(huì)在錄音的同時(shí)錄下機(jī)器的轉(zhuǎn)動(dòng)聲音，這些噪音在后期制作中很容易分辨，卻跟難分離和去掉的。