半導(dǎo)體真空閥門-半導(dǎo)體真空球閥參數(shù)：

操作方式 ：1/4 Turn pneumatic open and close

壓力范圍： 2 bar ~ 1x10-4 mbar

泄漏率: 9x10-7 mbar.l/sec

材質(zhì)：316 S.S , PTFE

壓力：2 bar

溫度 ：Cylindr 80°C/Body 100°C

空氣壓縮連接頭 : 2x1/4"NPT

氣體壓力 : 4-7 kg/cm2

主要服務(wù)于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能、光電、真空鍍膜、其他高性能真空系統(tǒng)、科研機構(gòu)等高科技領(lǐng)域;多年來持續(xù)占有全球市場主要市場份額。奇高閥門專注于真空閥門領(lǐng)域，因其強大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的好品質(zhì)，半導(dǎo)體芯片設(shè)備以及太陽能設(shè)備制造廠商都在其機臺設(shè)備中大量采用了奇高公司的產(chǎn)品。