舒適性
輕鋼墻體采用節(jié)能體系,具有呼吸功能,可調(diào)節(jié)室內(nèi)空氣干濕度;屋頂具有通風(fēng)功能,可以使屋內(nèi)部上空形成流動的空氣間,保證屋頂內(nèi)部的通風(fēng)及散熱需求。
快捷
全部干作業(yè)施工,不受環(huán)境季節(jié)影響。一棟300平方米左右的建筑,只需5個工人30個工作日可以完成從地基到裝修的全過程。
環(huán)保
材料可回收,真正做到綠色無污染。
節(jié)能
全部采用節(jié)能墻體,保溫、隔熱、隔音效果好,可達到50%的節(jié)能標準。
溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間,相對濕度則在40%~65%之間;凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間,相對濕度則在45%~55%。
恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對溫濕度變化的大小極為敏感,故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。
空調(diào)系統(tǒng)24小時全天運轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備,對溫濕度變化極為敏感,如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機臺,些微的溫、濕度變化均會使設(shè)備的準度偏差,另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下,故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時監(jiān)控管理之。
半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外,并可延長凈室ULPAfilter的壽命,但不能無條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>