凈室，又稱無塵室、潔凈室或清凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過的（如沒有受控的微生物），更在意的是凈室中的灰塵。

半導體廠凈室室內壓力大小半導體廠凈室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長凈室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉成本。

氣流分布須均勻凈室空調為帶走凈室內所產生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當?shù)目刂啤?/p>

標準廠房設計規(guī)范

一、工業(yè)廠房設計必須貫徹執(zhí)行國家的有關方針政策，做到技術先進、經(jīng)濟合理、適用、確保質量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護的要求。

二、本規(guī)范適用于新建和改建、擴建的工業(yè)廠房設計，但不適用于以為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關防火和疏散、消防設施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層工業(yè)廠房和地下工業(yè)廠房的設計。

三、條在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，工業(yè)廠房設計必須根據(jù)生產工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術設施。

四、工業(yè)廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和運行創(chuàng)造必要的條件。

五、工業(yè)廠房設計除應按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現(xiàn)行的國家標準、規(guī)范的有關要求。

六、工業(yè)廠房是由獨立一棟建筑物（車間），和獨立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標準是10米，近不得少于5米，以便消驗收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。

本標準適用于：

一、設計裝配式或部分裝配式的鋼筋混凝土結構和混合結構廠房；

二、編制廠房建筑構配件標準設計圖集。

注：①設計鋼結構廠房、受條件限制的改（擴）建廠房、現(xiàn)澆式鋼筋混凝土結構廠房、工藝對廠房有特殊要求的廠房或按本標準設計在技術經(jīng)濟上會產生顯著不合理的廠房，可不執(zhí)行本標準的某些規(guī)定；②采用新技術、新結構和新材料的廠房，可不受本標準某些規(guī)定的限制。