凈室，又稱無塵室、潔凈室或清凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過的（如沒有受控的微生物），更在意的是凈室中的灰塵。

凈室系統(tǒng)，制造匹配規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經(jīng)過凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間（Mech. Chase），將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，透過循環(huán)風(fēng)扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間，相對濕度則在40%~65%之間；凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間，相對濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。

凈室是一種以合理的成本開發(fā)高質(zhì)量軟件的基于理論、面向工作組的方法。凈室是基于理論的，因?yàn)閳詫?shí)的理論基礎(chǔ)是任何工程學(xué)科所不可缺少的。再好的管理也代替不了理論基礎(chǔ)。凈室是面向工作組的，因?yàn)檐浖怯扇碎_發(fā)出來的，并且理論必須簡化到實(shí)際應(yīng)用才能引導(dǎo)人的創(chuàng)造力和協(xié)作精神。凈室是針對經(jīng)濟(jì)實(shí)用軟件的生產(chǎn)的，因?yàn)樵诂F(xiàn)實(shí)生活中，業(yè)務(wù)和資源的限制必須在軟件工程中予以滿足。后，凈室是針對高質(zhì)量軟件的生產(chǎn)的，因?yàn)楦哔|(zhì)量改進(jìn)管理，降低風(fēng)險及成本，滿足用戶需求，提供競爭優(yōu)勢。