凈室的定義為:將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
凈室系統(tǒng),制造匹配規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,凈室內(nèi)的制造區(qū)(FAB)。一般而言,制造潔凈空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經(jīng)過(guò)凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡(jiǎn)單介紹其處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過(guò)濾微塵(particle)并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間(Mech. Chase),將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,透過(guò)循環(huán)風(fēng)扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動(dòng)凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過(guò)濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。
工業(yè)廠房,指直接用于生產(chǎn)或?yàn)樯a(chǎn)配套的各種房屋,包括主要車間、輔助用房及附屬設(shè)施用房。凡工業(yè)、交通運(yùn)輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學(xué)校等單位中的廠房都應(yīng)包括在內(nèi)。工業(yè)廠房除了用于生產(chǎn)的車間,還包括其附屬建筑物。
在一個(gè)建設(shè)場(chǎng)地內(nèi),確定各廠房設(shè)計(jì)方案時(shí),宜使構(gòu)配件的類型統(tǒng)一。
在技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理的基礎(chǔ)上,廠房的體形應(yīng)力求簡(jiǎn)單,避免設(shè)置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。
在編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集時(shí),應(yīng)使用途相同的構(gòu)配件具有限度的互換性。
廠房建筑設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定外,還應(yīng)符合現(xiàn)行有關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。