凈室,又稱(chēng)無(wú)塵室、潔凈室或清凈室,是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來(lái)源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個(gè)凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別,污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用顆粒大小來(lái)厘定的。低級(jí)別的凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)的(如沒(méi)有受控的微生物),更在意的是凈室中的灰塵。
凈室的定義為:將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱(chēng)之為凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間,相對(duì)濕度則在40%~65%之間;凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間,相對(duì)濕度則在45%~55%。
恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對(duì)溫濕度變化的大小極為敏感,故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。
在一個(gè)建設(shè)場(chǎng)地內(nèi),確定各廠房設(shè)計(jì)方案時(shí),宜使構(gòu)配件的類(lèi)型統(tǒng)一。
在技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理的基礎(chǔ)上,廠房的體形應(yīng)力求簡(jiǎn)單,避免設(shè)置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。
在編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集時(shí),應(yīng)使用途相同的構(gòu)配件具有限度的互換性。
廠房建筑設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定外,還應(yīng)符合現(xiàn)行有關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。