真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

該探針臺(tái)的承載臺(tái)為φ60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到400℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)

真空腔體

型號(hào)

KT-Z1604T-RL高低溫型 KT-1604TZ高溫型

加熱臺(tái)溫度

高溫型 ：400℃ 高低溫型：-190~400℃

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺(tái)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

75mm

加熱臺(tái)溫控誤差

±0.5℃

真空度

機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ介質(zhì)耐壓 ≤500V 電流噪聲 ≤10pA/100fA

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡+目鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機(jī)

sony高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

有

顯示屏

13寸

放大倍數(shù)

19-256倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm