等離子清洗機表面活化處理KT-S2DQX

等離子體是物質的一種存在狀態(tài)，通常物質以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態(tài)中存在下列物質：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的．

等離子清洗機表面活化處理KT-S2DQX

供電電源

AC220V（AC110V可選)

工作電流

整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

＜0.2MHz

特性阻抗

50歐姆，手動匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤100Pa

腔體材質

高純石英

腔體容積

2L(內徑110MMX深度220MM)

觀察窗內徑

Φ65

氣體流量

10—100ml/min（其他量程可選）

過程控制

過程手動控制

清洗時間

手動開關

開蓋方式

鉸鏈側開式法蘭

外形尺寸

400x380x360mm

重量

23Kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強制風冷

標配

KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本。