集成電路(IC)制造
用途:作為金屬互連層或接觸電極材料,用于芯片內(nèi)部的導(dǎo)電線路、晶體管電極等關(guān)鍵部位。
優(yōu)勢(shì):銦的低熔點(diǎn)和高延展性使其易于加工成極薄的薄膜,滿足納米級(jí)制程對(duì)材料精度的要求。
薄膜太陽(yáng)能電池
主流技術(shù):用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽(yáng)能電池的濺射鍍膜,作為光吸收層(In-Ga-Se 合金)的核心材料。
優(yōu)勢(shì):CIGS 電池的光電轉(zhuǎn)換效率超過(guò) 23%,銦靶的純度直接影響電池的開路電壓和填充因子。
安裝前預(yù)處理
表面清潔:
用無(wú)水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指紋及氧化層(可用無(wú)塵布蘸取溶劑沿同一方向擦拭,避免來(lái)回摩擦)。
若靶材表面有輕微氧化,可用細(xì)砂紙(800~1200 目)輕輕打磨,再用去離子水沖洗并干燥。
靶材檢查:
確認(rèn)靶材無(wú)裂紋、孔洞或脫落(銦質(zhì)地軟,運(yùn)輸或安裝時(shí)易磕碰損傷)。
檢查靶材與靶架的適配性(如尺寸公差、導(dǎo)電性接觸點(diǎn)),確保安裝牢固。
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