粉末冶金法:通過(guò)將銦粉末在高溫下壓制和燒結(jié)成型,可有效控制雜質(zhì)含量,能制造出形狀復(fù)雜的靶材,制得的靶材具有較高的致密度和均勻性。
熔煉法:將銦材料加熱至熔點(diǎn)以上,使其成為液態(tài),然后通過(guò)鑄?;蚱渌尚凸に囍圃彀胁模摲椒ê?jiǎn)單快捷,但控制純度和均勻性相對(duì)較難。
銦靶是現(xiàn)代電子信息、新能源、高端制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的底層關(guān)鍵材料,其應(yīng)用深度和廣度直接反映一個(gè)國(guó)家在半導(dǎo)體、顯示、光伏等領(lǐng)域的技術(shù)水平。由于全球銦資源稀缺(主要伴生于鋅礦),且提純工藝復(fù)雜,銦靶的供應(yīng)鏈已成為各國(guó)關(guān)注的重點(diǎn)。未來(lái),隨著 5G、AI、新能源汽車等產(chǎn)業(yè)的爆發(fā),銦靶的需求將持續(xù)增長(zhǎng),同時(shí)推動(dòng)高純銦(99.999% 以上)制備技術(shù)的不斷突破。
安裝前預(yù)處理
表面清潔:
用無(wú)水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指紋及氧化層(可用無(wú)塵布蘸取溶劑沿同一方向擦拭,避免來(lái)回摩擦)。
若靶材表面有輕微氧化,可用細(xì)砂紙(800~1200 目)輕輕打磨,再用去離子水沖洗并干燥。
靶材檢查:
確認(rèn)靶材無(wú)裂紋、孔洞或脫落(銦質(zhì)地軟,運(yùn)輸或安裝時(shí)易磕碰損傷)。
檢查靶材與靶架的適配性(如尺寸公差、導(dǎo)電性接觸點(diǎn)),確保安裝牢固。
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